Glass buffer-layerを有するSi基板上へのNd-Fe-B系厚膜磁石の作製と諸特性

• 中野 正基

  長崎大学大学院工学研究科

• 桃崎 瑞貴

  長崎大学大学院工学研究科

• 松岡 凌平

  長崎大学大学院工学研究科

• 山下 昂洋

  長崎大学大学院工学研究科

• 柳井 武志

  長崎大学大学院工学研究科

• 福永 博俊

  長崎大学大学院工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• Preparation of Nd-Fe-B Thick-film Magnets Deposited on Si Substrates with Each Glass Buffer Layer and their Properties
• Glass buffer-layer オ ユウスル Si キバン ジョウ エ ノ Nd-Fe-Bケイ アツマク ジシャク ノ サクセイ ト ショ トクセイ

抄録

This contribution reports mechanical characteristic together with magnetic properties of PLD (Pulsed Laser Deposition)-fabricated isotropic Nd-Fe-B thick-films on Si substrates with each glass under layer. An enhancement in the thickness of a PLD-made glass buffer-layer enabled us to reduce the stress between a Si substrate and a film magnet. Moreover, the adoption of a glass buffer-layer was effective to enhance the values of residual magnetic polarization and (BH)_max comparing those of a Nd-Fe-B film magnet with almost the same thickness on a Si substrate with a 500-nm thick thermal oxide layer.

収録刊行物

• 電気学会論文誌．　Ａ

  電気学会論文誌．　Ａ 141 (2), 128-132, 2021-02-01

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• PLD
• Nd-Fe-B
• バッファー層
• 磁気特性
• Nd含有量
• 機械的破壊

詳細情報

• CRID: 1391975831241035264
• NII論文ID: 130007979623
• NII書誌ID: AN10136312
• DOI: 10.1541/ieejfms.141.128
• ISSN: 13475533
• ISSN: 03854205
• NDL書誌ID: 031285139
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/031285139
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I031285139
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/141/2/141_128/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
  • KAKEN
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可