タルボット効果を用いた広範囲3次元リソグラフィ（第6報）

• 浦 直樹

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

• 水谷 康弘

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

• 江崎 隆

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

• 上野原 努

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

• 牧浦 良彦

  倉敷紡績　技術研究所

• 高谷 裕浩

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

書誌事項

タイトル別名

• ディープラーニングを用いた露光光波の振幅位相制御

抄録

ナノ周期構造を有する機能性構造は周期や形状が微細になるにつれて高機能化するため，ナノ周期構造の大面積一括作製に適したタルボットリソグラフィの加工自由度の向上が必要とされている．そこで本報告では，ディープラーニングを用いて入射光の振幅および位相条件を逆算し、入射光の位相情報から作成したホログラムを表示させた空間位相変調器を用いて、振幅および位相の制御を行う構造作製手法を構築した．

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2021S (0), 647-648, 2021-03-03

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• フォトリソグラフィ
• タルボット効果
• 3次元ナノ周期構造
• ホログラム
• ディープラーニング

詳細情報

• CRID: 1390570729660638464
• NII論文ID: 130008084151
• DOI: 10.11522/pscjspe.2021s.0_647
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可