タルボット効果を用いた広範囲3次元リソグラフィ（第5報）

• 江崎 隆

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

• 水谷 康弘

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

• 浦 直樹

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

• 上野原 努

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

• 牧浦 良彦

  倉敷紡績　技術研究所

• 高谷 裕浩

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

書誌事項

タイトル別名

• 斜め入射光を利用した多重露光によるナノピラー構造の作製

抄録

ナノ周期構造を利用した高機能デバイスは幅広い分野で研究されており，実用化に向けて高アスペクト比なナノ周期構造の高効率な成形技術が求められる．本研究では，微細周期構造の大面積作製に適した，タルボット効果を用いたフォトリソグラフィに着目した．本報告では，斜め入射光によるタルボット効果と回折格子の回転角制御を用いた多重露光により，高アスペクト比なナノピラー構造を大面積に高速で作製する手法を提案する．

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2021S (0), 583-584, 2021-03-03

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• タルボット効果
• フォトリソグラフィ
• 多重露光
• 高アスペクト比
• 3次元ナノ周期構造

詳細情報

• CRID: 1390289254683128448
• NII論文ID: 130008084157
• DOI: 10.11522/pscjspe.2021s.0_583
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可