Mechanical properties of thin films: Measurements of ultramicroindentation hardness, Young's modulus and internal stress
収録刊行物
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- Thin Solid Films
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Thin Solid Films 154 (1-2), 171-181, 1987-11
Elsevier BV
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1360855571118476288
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- NII論文ID
- 30006189686
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- ISSN
- 00406090
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- データソース種別
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- Crossref
- CiNii Articles