収録刊行物
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- J. Vac. Sci. Technol. B
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J. Vac. Sci. Technol. B 16 (5), 2871-2875, 1998
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1573950400409985920
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- NII論文ID
- 30020313964
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- DOI
- 10.1116/1.590286
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- データソース種別
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- CiNii Articles