Mechanism of TiN barrier-metal oxidation in a ferroelectric random access memory
収録刊行物
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- Journal of Materials Research
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Journal of Materials Research 13 (11), 3265-3269, 1998-11
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1360018298316527872
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- NII論文ID
- 30035470704
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- ISSN
- 20445326
- 08842914
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- データソース種別
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- Crossref
- CiNii Articles