光と電子が作るアメニティ--人,食品,ウエハに対する快適環境

• 藤井 敏昭

• 坂本 和彦

• 横山 新

書誌事項

タイトル別名

• ヒカリ ト デンシ ガ ツクル アメニティ ヒト ショクヒン ウエハ ニ タイスル カイテキ カンキョウ

抄録

資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト

収録刊行物

• エバラ時報 = Ebara engineering review

  エバラ時報 = Ebara engineering review (186), 13-18, 2000-01

  東京 : 荏原製作所「エバラ時報」編集部

詳細情報

• CRID: 1521136280511470336
• NII論文ID: 40000258701
• NII書誌ID: AN1022883X
• ISSN: 03853004
• NDL書誌ID: 4980729
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4980729
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles