AFM/STM

• 森田 清三

• 菅原 康弘

• 深野 善信

書誌事項

タイトル別名

• AFM STM
• マイクロマシンとマイクロトライボロジー<特集> ; マイクロトライボロジー--マイクロアナリシスツール
• マイクロマシン ト マイクロトライボロジー<トクシュウ> ; マイクロトライボロジー--マイクロアナリシスツール

抄録

資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト

収録刊行物

• 機械の研究 = Science of machine

  機械の研究 = Science of machine 46 (1), p150-153, 1994-01

  東京 : 養賢堂

詳細情報

• CRID: 1520010379936014208
• NII論文ID: 40000587593
• NII書誌ID: AN00349838
• ISSN: 03685713
• NDL書誌ID: 3863034
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3863034
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles