InP液相成長における液相エッチングの最適化

• 山賀 重来

• 吉川 明彦

• 葛西 晴雄

書誌事項

タイトル別名

• InP エキソウ セイチョウ ニ オケル エキソウ エッチング ノ サイテキカ

抄録

記事分類: 電気工学--電子工学--集積回路

収録刊行物

• 千葉大学工学部研究報告 / 千葉大学工学部 編

  千葉大学工学部研究報告 / 千葉大学工学部 編 35 (1), p63-71, 1983-09

  千葉 : 千葉大学工学部

詳細情報

• CRID: 1520009410222527488
• NII論文ID: 40002366864
• NII書誌ID: AN00142851
• ISSN: 05776848
• NDL書誌ID: 2604354
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I2604354
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles