加工技術の発展

• 難波 進

• 川辺 光央

書誌事項

タイトル別名

• カコウ ギジュツ ノ ハッテン
• 電子工学における微細加工技術とその応用<特集>
• デンシ コウガク ニ オケル ビサイ カコウ ギジュツ ト ソノ オウヨウ ト

抄録

資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト

収録刊行物

• 電子通信学会誌 = The Journal of the Institute of Electronics and Communication Engineers of Japan

  電子通信学会誌 = The Journal of the Institute of Electronics and Communication Engineers of Japan 59 (2), p117-122, 1976-02

  東京 : 電子通信学会

詳細情報

• CRID: 1521980705215802624
• NII論文ID: 40002548588
• NII書誌ID: AN00153246
• ISSN: 03736121
• NDL書誌ID: 1696439
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I1696439
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles