アルミニウム合金の超高真空システムと半導体プロセスへの応用

• 宮本 信雄

書誌事項

タイトル別名

• アルミニウム ゴウキン ノ チョウ コウ シンクウ システム ト ハンドウタイ

抄録

資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト

収録刊行物

• 東北大学電通談話会記録

  東北大学電通談話会記録 53 (3・4), p97-100, 1985-03

  仙台 : 東北大学電気通信研究所

詳細情報

• CRID: 1520290883785746560
• NII論文ID: 40002644072
• NII書誌ID: AN00168480
• ISSN: 03857719
• NDL書誌ID: 3017685
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3017685
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles