気相法によるβ-SiC膜の成長

• 本田 光

• 阿部 俊三

• 宮本 信雄

書誌事項

タイトル別名

• キソウホウ ニ ヨル ベータ SiC マク ノ セイチョウ

抄録

資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト

収録刊行物

• 東北工業大学紀要. Ⅰ, 理工学編 = Memoirs of the Tohoku Institute of Technology. Ser. Ⅰ, Science and engineering

  東北工業大学紀要. Ⅰ, 理工学編 = Memoirs of the Tohoku Institute of Technology. Ser. Ⅰ, Science and engineering (8), p171-176, 1988-03

  仙台 : 東北工業大学

詳細情報

• CRID: 1520290883977779840
• NII論文ID: 40004386135
• NII書誌ID: AN00167706
• ISSN: 02853817
• NDL書誌ID: 3181663
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/3181663
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3181663
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles