3次元デバイス創成のためのレーザ貫通孔加工における熱伝導解析

• 安田 真大

• 安田 清和

• 藤本 公三

書誌事項

タイトル別名

• 3ジゲン デバイス ソウセイ ノ タメ ノ レーザ カンツウコウ カコウ ニ オケル ネツ デンドウ カイセキ

収録刊行物

• マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集

  マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集 12 427-430, 2002-10

  東京 : エレクトロニクス実装学会

詳細情報

• CRID: 1520009409195343744
• NII論文ID: 40005530577
• NDL書誌ID: 6345156
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6345156
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles