マイクロ部品作製のための高アスペクト比リソグラフィ

• 加沢 エリト

• 上野 武司

• 篠田 勉

書誌事項

タイトル別名

• マイクロ ブヒン サクセイ ノ タメ ノ コウアスペクトヒ リソグラフィ

抄録

コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 地方公共団体 > 都道府県 > 東京都

収録刊行物

• 研究報告 / 東京都立産業技術研究所 [編]

  研究報告 / 東京都立産業技術研究所 [編] (5), 37-40, 2002-12

  東京 : 東京都立産業技術研究所

キーワード

• SU-8
• LIGA
• HARMS
• MEMS
• PEB

詳細情報

• CRID: 1522543655944742144
• NII論文ID: 40005635935
• NII書誌ID: AA11425856
• ISSN: 13444867
• NDL書誌ID: 6407348
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6407348
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles