原子間力顕微鏡を用いた新規なナノ計測技術

• 菅原 康弘

書誌事項

タイトル別名

• ゲンシカンリョク ケンビキョウ オ モチイタ シンキ ナ ナノ ケイソク ギジュツ

収録刊行物

• 生産と技術 = Manufacturing & technology / 大阪大学生産技術研究会 編

  生産と技術 = Manufacturing & technology / 大阪大学生産技術研究会 編 55 (2), 47-49, 2003

  大阪 : 生産技術振興協会

キーワード

• Atomic Force Microscope
• Atomic Scale
• Silicon
• Hydrogen
• Identification

詳細情報

• CRID: 1520572357296984832
• NII論文ID: 40005805702
• NII書誌ID: AN00127097
• ISSN: 03872211
• NDL書誌ID: 6571190
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6571190
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM5(科学技術--科学技術一般--工学・工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles