新しい静電型MEMSアクチュエータ--円すいばねMEMSアクチュエータとその固着防止駆動法

• 秦 誠一

• 福重 孝志

書誌事項

タイトル別名

• アタラシイ セイデンガタ MEMS アクチュエータ エン スイバネ MEMS アクチュエータ ト ソノ コチャク ボウシ クドウホウ

収録刊行物

• 光アライアンス / 光アライアンス編集委員会 編

  光アライアンス / 光アライアンス編集委員会 編 15 (10), 19-26, 2004-10

  東京 : 日本工業出版

詳細情報

• CRID: 1520291855369453824
• NII論文ID: 40006431706
• NII書誌ID: AA11758790
• ISSN: 0917026X
• NDL書誌ID: 7096327
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7096327
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN