キャビテーションを有効利用した硬脆基板材料の吸引式超精密微細形状創成法の開発

書誌事項

タイトル別名
  • キャビテーション オ ユウコウ リヨウ シタ コウゼイ キバン ザイリョウ ノ キュウインシキ チョウセイミツ ビサイ ケイジョウ ソウセイホウ ノ カイハツ
  • 平成14年度助成 研究成果特集 ; 学術研究(第40回)
  • ヘイセイ 14ネンド ジョセイ ケンキュウ セイカ トクシュウ ; ガクジュツ ケンキュウ ダイ40カイ

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