新製品・新技術紹介 ウェーハ保管・搬送用環境ボックス

• 田中 亮

• 鈴木 庸子

• 大橋 知範

書誌事項

タイトル別名

• シンセイヒン シン ギジュツ ショウカイ ウェーハ ホカン ハンソウヨウ カンキョウ ボックス

収録刊行物

• エバラ時報 = Ebara engineering review

  エバラ時報 = Ebara engineering review (205), 19-24, 2004-10

  東京 : 荏原製作所「エバラ時報」編集部

キーワード

• Semiconductor
• Wafer
• Contamination control
• SMIF system
• Clean environment
• HALCA project
• Out gas
• PWP test
• Chemical filter
• Airborne molecular contaminants

詳細情報

• CRID: 1521980705385059200
• NII論文ID: 40006495778
• NII書誌ID: AN1022883X
• ISSN: 03853004
• NDL書誌ID: 7147695
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7147695
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles