最近の技術から 集積回路評価用レーザーテラヘルツ放射顕微鏡の開発

• 山下 将嗣

• 紀和 利彦

• 斗内 政吉

書誌事項

タイトル別名

• サイキン ノ ギジュツ カラ シュウセキ カイロ ヒョウカヨウ レーザーテラヘルツ ホウシャ ケンビキョウ ノ カイハツ
• "開拓"進むテラヘルツ領域
• カイタク ススム テラヘルツ リョウイキ

収録刊行物

• 光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan

  光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan 34 (9), 472-474, 2005-09

  東京 : 日本光学会

キーワード

• THz emission
• LSI inspection
• failure analysis
• scanning laser microscope

詳細情報

• CRID: 1520853833346358016
• NII論文ID: 40006914770
• NII書誌ID: AN00080324
• ISSN: 03896625
• NDL書誌ID: 7483674
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7483674
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles