光活性機能性アモルファス酸化チタン薄膜の研究

• 畑中 義式

• 大道 学

• 坂口 鋼一

Bibliographic Information

Other Title

• ヒカリ カッセイ キノウセイ アモルファス サンカ チタン ハクマク ノ ケンキュウ

Journal

• 愛知工科大学紀要 = Bulletin of Aichi University of Technology

  愛知工科大学紀要 = Bulletin of Aichi University of Technology 2 43-48, 2004

  蒲郡 : 電波学園愛知工科大学

Keywords

• リモートプラズマCVD
• Titanium oxide
• Amorphous titanium oxide
• Remote plasma enhanced CVD

Details

• CRID: 1520572359788455296
• NII Article ID: 40007239534
• NII Book ID: AA12223915
• ISSN: 13498800
• NDL BIB ID: 7901309
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7901309
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles