マイクロプラズマの基礎と材料デバイスプロセスへの応用

• 寺嶋 和夫

書誌事項

タイトル別名

• マイクロプラズマ ノ キソ ト ザイリョウ デバイスプロセス エ ノ オウヨウ
• 特集 マイクロプラズマ技術のナノ・バイオ材料工学への応用(Part1)
• トクシュウ マイクロプラズマ ギジュツ ノ ナノ バイオ ザイリョウ コウガク エ ノ オウヨウ Part1

収録刊行物

• 機能材料

  機能材料 26 (5), 7-14, 2006-05

  東京 : シーエムシー出版

詳細情報

• CRID: 1521136280193463168
• NII論文ID: 40007265771
• NII書誌ID: AN00360069
• ISSN: 02864835
• NDL書誌ID: 7920240
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/7920240
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7920240
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM16(科学技術--科学技術一般--工業材料・材料試験)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles