硬質アモルファス窒化炭素薄膜の創製と気相プラズマ診断にもとづく薄膜生成機構の解析

• 伊藤 治彦

書誌事項

タイトル別名

• コウシツ アモルファス チッカ タンソ ハクマク ノ ソウセイ ト キソウ プラズマ シンダン ニ モトヅク ハクマク セイセイ キコウ ノ カイセキ

収録刊行物

• ナノ学会会報 = The bulletin of the Society of Nano Science and Technology

  ナノ学会会報 = The bulletin of the Society of Nano Science and Technology 4 (1), 17-24, 2005-11

  豊中 : ナノ学会

詳細情報

• CRID: 1521699231054026112
• NII論文ID: 40007279040
• ISSN: 13478028
• NDL書誌ID: 7927666
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/7927666
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7927666
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZP1(科学技術--化学・化学工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN