薄膜の弾性定数を精度よく測る方法--RUS/LDI法とレーザーピコ秒超音波法
書誌事項
- タイトル別名
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- ハクマク ノ ダンセイ テイスウ オ セイド ヨク ハカル ホウホウ RUS LDIホウ ト レーザーピコビョウ チョウオンパホウ
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収録刊行物
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- 金属
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金属 76 (6), 671-677, 2006-06
東京 : アグネ技術センター
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1523669553248117888
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- NII論文ID
- 40007318692
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- NII書誌ID
- AN00272132
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- ISSN
- 03686337
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- NDL書誌ID
- 7971020
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles