超音波計測 薄膜の異方性弾性定数測定--銅薄膜の弾性異方性と内部組織

• 中村 暢伴

• 荻 博次

• 平尾 雅彦

書誌事項

タイトル別名

• チョウオンパ ケイソク ハクマク ノ イホウセイ ダンセイ テイスウ ソクテイ ドウ ハクマク ノ ダンセイ イホウセイ ト ナイブ ソシキ

収録刊行物

• 超音波techno / 超音波techno編集部 編

  超音波techno / 超音波techno編集部 編 18 (4), 103-107,127, 2006

  東京 : 日本工業出版

詳細情報

• CRID: 1521417755054101504
• NII論文ID: 40007411575
• NII書誌ID: AN10068970
• ISSN: 09162410
• NDL書誌ID: 8042670
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8042670
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles