任意屈折率膜を用いたオプティカルフィルターの設計と遮蔽マスク機構を用いたスパッタリングによる作製

• 豊原 延好

• 和田 順雄

• 菊池 慶

書誌事項

タイトル別名

• ニンイ クッセツリツマク オ モチイタ オプティカル フィルター ノ セッケイ ト シャヘイ マスク キコウ オ モチイタ スパッタリング ニ ヨル サクセイ
• Design of optical filters using arbitrary index film and fabrication of the optical filter with two materials mixed layers by sputtering using the shielding plate

収録刊行物

• 光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan

  光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan 36 (6), 339-344, 2007-06

  東京 : 日本光学会

キーワード

• optical filters
• design
• fabrication
• no ripples
• mixed layers

詳細情報

• CRID: 1520853833418010112
• NII論文ID: 40015514742
• NII書誌ID: AN00080324
• ISSN: 03896625
• NDL書誌ID: 8857984
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8857984
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles