イオンビーム援用BN薄膜の作製と内部応力発生機構の検討  [in Japanese] Preparation of BN films by ion-beam-assisted deposition and investigation of generation mechanism of internal stress  [in Japanese]

Search this Article

Journal

  • プラズマ応用科学

    プラズマ応用科学 15(2), 166-170, 2007-12

    プラズマ応用科学会

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    40015918401
  • Text Lang
    JPN
  • ISSN
    13403214
  • NDL Article ID
    9420724
  • NDL Source Classification
    ZM35(科学技術--物理学)
  • NDL Call No.
    Z15-B41
  • Data Source
    NDL 
Page Top