イオンビーム援用BN薄膜の作製と内部応力発生機構の検討

• 花木 聡

• 冷 波

• 山下 正人

書誌事項

タイトル別名

• イオン ビーム エンヨウ BN ハクマク ノ サクセイ ト ナイブ オウリョク ハッセイ キコウ ノ ケントウ
• Preparation of BN films by ion-beam-assisted deposition and investigation of generation mechanism of internal stress

収録刊行物

• プラズマ応用科学 = Applied plasma science : journal of IAPS

  プラズマ応用科学 = Applied plasma science : journal of IAPS 15 (2), 166-170, 2007-12

  [茨木] : プラズマ応用科学会

キーワード

• Ion mixing and vapor deposition
• BN films
• Acceleration voltage
• Molecular dynamics
• Crystal structure

詳細情報

• CRID: 1520009407312920320
• NII論文ID: 40015918401
• NII書誌ID: AA12687461
• ISSN: 13403214
• NDL書誌ID: 9420724
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9420724
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN