イオンビーム援用BN薄膜の作製と内部応力発生機構の検討 Preparation of BN films by ion-beam-assisted deposition and investigation of generation mechanism of internal stress

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収録刊行物

  • プラズマ応用科学

    プラズマ応用科学 15(2), 166-170, 2007-12

    プラズマ応用科学会

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    40015918401
  • 本文言語コード
    JPN
  • ISSN
    13403214
  • NDL 記事登録ID
    9420724
  • NDL 雑誌分類
    ZM35(科学技術--物理学)
  • NDL 請求記号
    Z15-B41
  • データ提供元
    NDL 
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