次世代X線検出器TES型マイクロカロリーメータによるSEM-EDS分析システムの開発と応用

• 中井 泉

• 小野 有紀

• 李 青会

書誌事項

タイトル別名

• ジセダイ Xセン ケンシュツキ TESガタ マイクロカロリーメータ ニ ヨル SEM EDS ブンセキ システム ノ カイハツ ト オウヨウ
• Development of the next generation transition-edge sensor microcalorimeter X-ray detector for SEM-EDS analysis and its applications

収録刊行物

• X線分析の進歩 / 日本分析化学会X線分析研究懇談会 編

  X線分析の進歩 / 日本分析化学会X線分析研究懇談会 編 (39), 117-127, 2008-03

  東京 : アグネ技術センター

キーワード

• Energy dispersive spectroscopy
• EDS
• Transition-Edge Sensor
• Low acceleration voltage
• High energy resolution
• Aerosol
• Microcalorimeter
• X-ray microanalysis
• エネルギー分散型X線検出器
• 超伝導転移端
• 低加速電圧
• 高エネルギー分解能
• 大気粉塵
• マイクロカロリーメータ
• X線マイクロアナリシス

詳細情報

• CRID: 1520009410040643328
• NII論文ID: 40015956287
• NII書誌ID: AN0000592X
• ISSN: 09117806
• NDL書誌ID: 9451427
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9451427
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZP4(科学技術--化学・化学工業--分析化学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN