新結晶・新物質 SiC上の結晶化SiON超薄膜

• 白澤 徹郎

• 水野 清義

• 栃原 浩

書誌事項

タイトル別名

• シンケッショウ シンブッシツ SiCジョウ ノ ケッショウカ SiON チョウハクマク
• New crystals and new materials: Crystalline SiON ultrathin film on SiC

収録刊行物

• 固体物理 / アグネ技術センター [編]

  固体物理 / アグネ技術センター [編] 43 (4), 231-237, 2008-04

  東京 : アグネ技術センター

詳細情報

• CRID: 1520010381074438912
• NII論文ID: 40016046192
• NII書誌ID: AN00092629
• ISSN: 04544544
• NDL書誌ID: 9509838
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/9509838
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9509838
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles