Local self-heating of pyrolyzed polymer microstructure for further carbonization at higher temperature on silicon chip

• Keisuke Naka

• Kanji Okamoto

• Satoshi Konishi

書誌事項

タイトル別名

• Local self heating of pyrolyzed polymer microstructure for further carbonization at higher temperature on silicon chip

抄録

コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌

収録刊行物

• Japanese journal of applied physics : JJAP

  Japanese journal of applied physics : JJAP 47 (12), 8982-8985, 2008-12

  Tokyo : The Japan Society of Applied Physics

キーワード

• pyrolyzed polymer
• carbon material
• MEMS
• carbonization
• resistive heating

詳細情報

• CRID: 1520572358563275392
• NII論文ID: 40016389646
• NII書誌ID: AA12295836
• ISSN: 00214922
• ISSN: 13474065
• DOI: 10.1143/jjap.47.8982
• NDL書誌ID: 9743451
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/9743451
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9743451
• Web Site: https://iopscience.iop.org/article/10.1143/JJAP.47.8982
• Web Site: https://iopscience.iop.org/article/10.1143/JJAP.47.8982/pdf
• 本文言語コード: en
• NDL 雑誌分類:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• データソース種別:
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles