光放射圧振動制御型プローブを利用したマイクロ3次元形状計測に関する研究
書誌事項
- タイトル別名
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- ヒカリ ホウシャアツ シンドウ セイギョガタ プローブ オ リヨウ シタ マイクロ 3ジゲン ケイジョウ ケイソク ニ カンスル ケンキュウ
- Study on 3D form measurement of micro-components using the vibrating microprobe controlled by optical radiation pressure
- 第13回 知能メカトロニクスワークショップ講演論文集
- ダイ13カイ チノウ メカトロニクスワークショップ コウエン ロンブンシュウ
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収録刊行物
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- 知能メカトロニクスワークショップ講演論文集
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知能メカトロニクスワークショップ講演論文集 13 293-298, 2008-09
高松 : 精密工学会