圧電・超音波材料 超音波攪拌機構を用いた水熱合成法によるPZT薄膜の成膜

• 神田 岳文

書誌事項

タイトル別名

• アツデン チョウオンパ ザイリョウ チョウオンパ カクハン キコウ オ モチイタ スイネツ ゴウセイホウ ニ ヨル PZT ハクマク ノ セイマク

収録刊行物

• 超音波techno / 超音波techno編集部 編

  超音波techno / 超音波techno編集部 編 21 (6), 35-37, 2009

  東京 : 日本工業出版

詳細情報

• CRID: 1520573329945047680
• NII論文ID: 40016911288
• NII書誌ID: AN10068970
• ISSN: 09162410
• NDL書誌ID: 10502347
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10502347
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles