光ファイバプローブを用いた微小径穴の形状精度測定技術

• 村上 洋

• 皮籠石 紀雄

• 近藤 英二

書誌事項

タイトル別名

• ヒカリ ファイバ プローブ オ モチイタ ビショウケイ アナ ノ ケイジョウ セイド ソクテイ ギジュツ

収録刊行物

• 光アライアンス / 光アライアンス編集委員会 編

  光アライアンス / 光アライアンス編集委員会 編 21 (2), 55-58, 2010-02

  東京 : 日本工業出版

詳細情報

• CRID: 1522825130650525952
• NII論文ID: 40016979080
• NII書誌ID: AA11758790
• ISSN: 0917026X
• NDL書誌ID: 10563783
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/10563783
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10563783
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN