RF-MBE InN膜成長における窒素プラズマ照射の影響

• 山本 泰輔

• 本間 一臣

• 澤田 孝幸

書誌事項

タイトル別名

• RF MBE InN マク セイチョウ ニ オケル チッソ プラズマ ショウシャ ノ エイキョウ
• Influence of N-plasma irradiation on the quality of RF-MBE grown InN layers

収録刊行物

• 北海道工業大学研究紀要 = Memoirs of the Hokkaido Institute of Technology / 北海道工業大学 編

  北海道工業大学研究紀要 = Memoirs of the Hokkaido Institute of Technology / 北海道工業大学 編 (38), 143-148, 2010-03

  札幌 : 北海道工業大学

詳細情報

• CRID: 1520290883125250560
• NII論文ID: 40017157902
• NII書誌ID: AN00229541
• ISSN: 03850862
• NDL書誌ID: 10725192
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/10725192
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10725192
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN