大気圧プラズマを用いた低温・高速成膜技術

• 垣内 弘章

• 大参 宏昌

• 安武 潔

書誌事項

タイトル別名

• タイキアツ プラズマ オ モチイタ テイオン コウソクセイ マク ギジュツ
• 特集 プラズマプロセスの応用技術
• トクシュウ プラズマプロセス ノ オウヨウ ギジュツ

収録刊行物

• ケミカルエンジニヤリング = Chemical engineering

  ケミカルエンジニヤリング = Chemical engineering 55 (12), 889-895, 2010-12

  川崎 : 化学工業社

詳細情報

• CRID: 1522262179853689856
• NII論文ID: 40017400283
• NII書誌ID: AN00074423
• ISSN: 03871037
• NDL書誌ID: 10917300
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10917300
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZP1(科学技術--化学・化学工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles