半導体リソグラフィ技術の動向と東芝の取組み

• 東木 達彦

• 大西 廉伸

書誌事項

タイトル別名

• ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ ノ ドウコウ ト トウシバ ノ トリクミ
• Trends in Semiconductor Lithography Technologies and Toshiba's Approach
• 特集 半導体の進化を支えるリソグラフィ技術
• トクシュウ ハンドウタイ ノ シンカ オ ササエル リソグラフィ ギジュツ

収録刊行物

• 東芝レビュー = Toshiba review / 東芝ビジネスエキスパート株式会社ビジネスソリューション事業部 編集・制作

  東芝レビュー = Toshiba review / 東芝ビジネスエキスパート株式会社ビジネスソリューション事業部 編集・制作 67 (4), 2-6, 2012-04

  東京 : 東芝技術企画部

詳細情報

• CRID: 1521980703399429504
• NII論文ID: 40019317026
• NII書誌ID: AN00166099
• ISSN: 03720462
• NDL書誌ID: 023762064
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I023762064
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles