イオンビーム支援硬質窒化物薄膜の作製と特性評価  [in Japanese] Synthesis and Characterization of Hard Nitride Films by Ion Beam Assisted Deposition Technique  [in Japanese]

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  • プラズマ応用科学

    プラズマ応用科学 19(2), 85-92, 2011-12

    プラズマ応用科学会

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    40019324397
  • Text Lang
    JPN
  • ISSN
    1340-3214
  • NDL Article ID
    023776355
  • NDL Call No.
    Z15-B41
  • Data Source
    NDL 
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