多層コーティング法におけるBNスパッタリング特性について
書誌事項
- タイトル別名
-
- タソウ コーティングホウ ニ オケル BN スパッタリング トクセイ ニ ツイテ
- Sputtering Characteristic of BN in Multilayer Coating Method
この論文をさがす
収録刊行物
-
- プラズマ応用科学 = Applied plasma science : journal of IAPS
-
プラズマ応用科学 = Applied plasma science : journal of IAPS 19 (2), 151-154, 2011-12
[茨木] : プラズマ応用科学会
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1520572358250951808
-
- NII論文ID
- 40019324551
-
- NII書誌ID
- AA12687461
-
- ISSN
- 13403214
-
- NDL書誌ID
- 023776682
-
- 本文言語コード
- ja
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZM35(科学技術--物理学)
-
- データソース種別
-
- NDL
- CiNii Articles
- KAKEN