多層コーティング法におけるBNスパッタリング特性について

• 細田 誠也

• 張 科寅

• 金子 亮太郎

Bibliographic Information

Other Title

• タソウ コーティングホウ ニ オケル BN スパッタリング トクセイ ニ ツイテ
• Sputtering Characteristic of BN in Multilayer Coating Method

Journal

• プラズマ応用科学 = Applied plasma science : journal of IAPS

  プラズマ応用科学 = Applied plasma science : journal of IAPS 19 (2), 151-154, 2011-12

  [茨木] : プラズマ応用科学会

Keywords

• Hall thruster
• Multilayer coating method
• Boron nitride
• Xenon
• Sputtering yield

Details

• CRID: 1520572358250951808
• NII Article ID: 40019324551
• NII Book ID: AA12687461
• ISSN: 13403214
• NDL BIB ID: 023776682
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/023776682
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I023776682
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN