イオンビーム支援蒸着法による島状ナノ構造TiN薄膜の創製  [in Japanese] Synthesis of Island-Like Nanostructure in TiN Films by Ion Beam Assisted Deposition  [in Japanese]

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  • プラズマ応用科学

    プラズマ応用科学 19(2), 155-158, 2011-12

    プラズマ応用科学会

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    40019324562
  • Text Lang
    JPN
  • ISSN
    1340-3214
  • NDL Article ID
    023776711
  • NDL Call No.
    Z15-B41
  • Data Source
    NDL 
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