ポリグリセロール修飾ナノダイヤモンドを用いた平坦化加工に関する研究

• 村井 亮太

• 高谷 裕浩

• 林 照剛

書誌事項

タイトル別名

• ポリグリセロール シュウショク ナノダイヤモンド オ モチイタ ヘイタンカ カコウ ニ カンスル ケンキュウ
• Study on copper surface planarization process using polyglycerol-functionalized diamond nanoparticle

収録刊行物

• 砥粒加工学会学術講演会講演論文集 ABTEC / 砥粒加工学会学術講演会(ABTEC)実行委員会 編

  砥粒加工学会学術講演会講演論文集 ABTEC / 砥粒加工学会学術講演会(ABTEC)実行委員会 編 67-70, 2013

  東京 : 砥粒加工学会

キーワード

• Cu-CMP
• diamond
• nanoparticle
• planarization
• polyglycerol

詳細情報

• CRID: 1520290883761068160
• NII論文ID: 40019961788
• NDL書誌ID: 025181005
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025181005
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles