磁気トンネル接合の成膜技術の進展 (小特集 スパッタリングをめぐる技術(3)) Progress in Deposition Technology of Magnetic Tunnel Junctions

この論文をさがす

収録刊行物

  • Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空

    Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空 57(3), 91-95, 2014-03

    日本真空協会

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    40020014785
  • NII書誌ID(NCID)
    AA12298652
  • 本文言語コード
    JPN
  • ISSN
    1882-2398
  • NDL 記事登録ID
    025338667
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    NDL 
ページトップへ