磁気トンネル接合の成膜技術の進展 (小特集 スパッタリングをめぐる技術(3))  [in Japanese] Progress in Deposition Technology of Magnetic Tunnel Junctions  [in Japanese]

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Author(s)

Journal

  • Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空

    Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空 57(3), 91-95, 2014-03

    日本真空協会

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    40020014785
  • NII NACSIS-CAT ID (NCID)
    AA12298652
  • Text Lang
    JPN
  • ISSN
    1882-2398
  • NDL Article ID
    025338667
  • NDL Call No.
    Z16-474
  • Data Source
    NDL 
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