化学修飾ナノダイヤモンドを用いた銅薄膜表面の化学機械研磨

• 高谷 裕浩

• 村井 亮太

• 林 照剛

書誌事項

タイトル別名

• カガク シュウショク ナノダイヤモンド オ モチイタ ドウ ハクマク ヒョウメン ノ カガク キカイ ケンマ

収録刊行物

• New diamond = ニューダイヤモンド / ニューダイヤモンドフォーラム 編

  New diamond = ニューダイヤモンド / ニューダイヤモンドフォーラム 編 30 (2), 25-27, 2014-04

  東京 : ニューダイヤモンドフォーラム

詳細情報

• CRID: 1524232503261600256
• NII論文ID: 40020087586
• NII書誌ID: AN1020856X
• ISSN: 13404792
• NDL書誌ID: 025509805
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025509805
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZP9(科学技術--化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--セラミックス・窯業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles