SiトレンチのSOG埋込による近接デュアルAFM探針とNi積層デュアルカンチレバーの作製

• 川島 健太

• 峯田 貴

• 牧野 英司

書誌事項

タイトル別名

• Si トレンチ ノ SOG ウメコミ ニ ヨル キンセツ デュアル AFMタンシン ト Ni セキソウ デュアルカンチレバー ノ サクセイ
• Self-align fabrication of narrow-gapped dual AFM tip using Si trench refilling with SOG and Ni film stacked dual cantilever formation

収録刊行物

• 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]

  「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 30 1-4, 2013-11

  [東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan

キーワード

• 近接化
• デュアルAFM探針
• SOGによるトレンチ埋め込み
• デュアルAFMカンチレバー
• 磁歪膜
• narrow-gapped
• dual AFM tip
• trench refilling with SOG
• dual AFM cantilever
• magneto-strictive film

詳細情報

• CRID: 1520009408421527680
• NII論文ID: 40020168337
• NDL書誌ID: 025725625
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/025725625
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025725625
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles