高速ナノ・マイクロプロセッシングのための高出力超短パルスYb:YAG Thin Diskレーザの開発
書誌事項
- タイトル別名
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- コウソク ナノ ・ マイクロプロセッシング ノ タメ ノ コウシュツリョク チョウタンパルス Yb:YAG Thin Disk レーザ ノ カイハツ
- Development on a High Power Ultrafast Pulsed Yb:YAG Thin Disk Laser for Application of High Throughput Nano-, Micro-Processing
- 特集 超短パルスレーザと加工
- トクシュウ チョウタンパルスレーザ ト カコウ
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収録刊行物
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- レーザ加工学会誌 = Journal of Japan Laser Processing Society
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レーザ加工学会誌 = Journal of Japan Laser Processing Society 21 (2), 80-82, 2014-06
吹田 : レーザ加工学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520572357959062528
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- NII論文ID
- 40020208981
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- NII書誌ID
- AA11758611
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- ISSN
- 18816797
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- NDL書誌ID
- 025808623
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles