熱電子励起低圧柱状プラズマ下の基板上シースに於いて成長する炭素粒子の温度と相状態

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タイトル別名
  • ネツ デンシレイキテイアツ チュウジョウ プラズマ カ ノ キバン ジョウ シース ニ オイテ セイチョウ スル タンソ リュウシ ノ オンド ト ソウ ジョウタイ
  • Temperature and Phase of Carbon Particles growing in the Sheath near Substrate Surface generated by a Low Pressure Hot-Cathode Columnar Plasma

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