熱電子励起低圧柱状プラズマ下の基板上シースに於いて成長する炭素粒子の温度と相状態
書誌事項
- タイトル別名
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- ネツ デンシレイキテイアツ チュウジョウ プラズマ カ ノ キバン ジョウ シース ニ オイテ セイチョウ スル タンソ リュウシ ノ オンド ト ソウ ジョウタイ
- Temperature and Phase of Carbon Particles growing in the Sheath near Substrate Surface generated by a Low Pressure Hot-Cathode Columnar Plasma
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収録刊行物
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- 九州共立大学総合研究所紀要 = Journal of Kyushu Kyoritsu University Research Center
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九州共立大学総合研究所紀要 = Journal of Kyushu Kyoritsu University Research Center (8), 69-75, 2015-03
北九州 : 九州共立大学総合研究所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520572359829658752
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- NII論文ID
- 40020515275
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- NII書誌ID
- AA12335420
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- ISSN
- 18827144
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- NDL書誌ID
- 026569492
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles