広島工業大学 工学部 電子情報工学科 豊田研究室 : 成膜装置開発を目指した薄膜形成技術

• 豊田 宏

書誌事項

タイトル別名

• ヒロシマ コウギョウ ダイガク コウガクブ デンシ ジョウホウ コウガクカ トヨタ ケンキュウシツ : セイマク ソウチ カイハツ オ メザシタ ハクマク ケイセイ ギジュツ

収録刊行物

• 光アライアンス / 光アライアンス編集委員会 編

  光アライアンス / 光アライアンス編集委員会 編 26 (9), 58-60, 2015-09

  東京 : 日本工業出版

詳細情報

• CRID: 1523106604608098048
• NII論文ID: 40020565364
• NII書誌ID: AA11758790
• ISSN: 0917026X
• NDL書誌ID: 026689549
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I026689549
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles