低圧RFマグネトロンスパッタ法によるc軸平行配向ZnO膜の形成とSAW, Lamb波デバイスへの応用

• 高柳 真司

• 柳谷 隆彦

• Jean-Claude GERBEDOEN

書誌事項

タイトル別名

• テイアツ RF マグネトロンスパッタホウ ニ ヨル cジク ヘイコウハイコウ ZnOマク ノ ケイセイ ト SAW, Lambハ デバイス エ ノ オウヨウ
• Growth of c-axis parallel oriented ZnO film by RF magnetron sputtering at low gas pressure and its application in SAW and Lamb wave devices
• 超音波
• チョウオンパ

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 115 (207), 25-30, 2015-09

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• ZnO薄膜
• c軸平行配向膜
• スパッタ法
• 負イオン照射
• SAW
• Lamb波
• ZnO film
• c-Axis parallel oriented film
• Sputtering method
• Negative ion bombardment
• Lamb wave

詳細情報

• CRID: 1520009407110059648
• NII論文ID: 40020617135
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 026801245
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/026801245
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I026801245
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles