シリコン基板光導波型加速度センサにおけるセンサ感度の有限要素法解析 : 導波路位置依存性及びダイヤフラム厚依存性

• 宮澤 哲史

• 大河 正志

• 佐藤 孝

書誌事項

タイトル別名

• シリコン キバン ヒカリドウハガタ カソクド センサ ニ オケル センサ カンド ノ ユウゲン ヨウソホウ カイセキ : ドウハロ イチ イソンセイ オヨビ ダイヤフラムコウ イソンセイ
• FEM Analysis on Sensor Sensitivity in a Silicon-Based Guided-Wave Optical Accelerometer : Sensitivity Dependences on Waveguide Position and Diaphragm Thickness

収録刊行物

• 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]

  「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 32 1-4, 2015-10

  [東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan

キーワード

• 加速度センサ
• 光集積回路
• 光導波路
• ダイヤフラム
• シリコン
• 有限要素法
• accelerometer
• integrated optics
• waveguide
• diaphragm
• silicon
• finite element method

詳細情報

• CRID: 1520853832178150912
• NII論文ID: 40020857539
• NDL書誌ID: 027434015
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I027434015
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles