微細パターン構造に生じる面外うねり座屈の比較解析

• 杉浦 順哉

• 奥村 大

• 田中 展

Bibliographic Information

Other Title

• ビサイ パターン コウゾウ ニ ショウジル メン ガイウネリザクツ ノ ヒカク カイセキ
• COMPARATIVE ANALYSIS OF OUT-OF-PLANE UNDULATIN BUCKLING IN MICROSCOPIC PATTERNED STRUCTURE

Journal

• 計算数理工学論文集 / 日本計算数理工学会 編

  計算数理工学論文集 / 日本計算数理工学会 編 16 49-54, 2016-12

  東京 : 日本計算数理工学会

Keywords

• Semiconductor device
• Intrinsic stress
• Buckling
• Plate theory
• Finite element analysis

Details

• CRID: 1520009409830479104
• NII Article ID: 40021024295
• ISSN: 13485245
• NDL BIB ID: 027776951
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/027776951
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I027776951
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZM31(科学技術--数学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN